PVD涂层 Mitsubishi

CVD涂层
PVD涂层
CVD与PVD的比较
其它涂层及表面处理

与C.V.D.法相比P.V.D.法的涂层温度低（700°C以下），能够减少基体在制造过程中的损伤（韧性降低）。基于这一特性，即使是锋利刃口也可以充分确保切削刃的强度，因而被广泛应用于钻头、立铣刀及螺纹切削工具上。过去，P.V.D.法主要使用TiN与TiCN等涂层物质，随着P.V.D.法涂层技术的不断更新，一种称为（Al，Ti）N的物质逐渐成为了目前使用的主要涂层材料。 P.V.D.法无需专用的基体，可以在高速钢、硬质合金、金属陶瓷等任意一种现有的材料上进行涂层。 - 点击下面的链接，进行详细的学习！

与C.V.D.法相比，P.V.D.法涂层的温度低（700°以下），涂层过程中对基体损伤（韧性降低）很小。因此可以应用于涂覆高温条件下使硬度与强度降低的高速钢刀具、硬质合金焊接刀具、以及硬质合金、金属陶瓷等绝大部分基体材料。同时，对于切削刃锋利（锋利刃口）的刀具也可保持其切削刃强度，所以在钻头、立铣刀、螺纹切削刀具等中被广泛使用。

涂层物质与切削性能 P.V.D,法使用的涂层物质中除了C.V.D.法使用的TiC、TiCN、Al2O3以外，还包括TiN（氮化钛）、（Al，Ti）N（氮化铝钛）、（Al，Ti，Si）N（氮化铝钛硅）、CrN（氮化铬）与后面讲述的非晶质硬质碳素膜（DLC）等。各种物质都有其特长，根据用途选择使用单层或是多层。 - 点击下表中第一行各项，会显示对该项目的解释。

硬度 (耐后刀面磨损性) 铝与钛的复合碳化物（Al，Ti）N因为原子半径不同的Al与Ti混合在一起，涂层膜中产生不均，具有非常坚硬的特点。还有更加坚硬的（Al，Ti，Si）N，它在PVD涂层物质中也显示出非常高的耐后刀面磨损性。CrN虽然硬度没有达到那种程度，在高温条件下与铜的摩擦系数比TiN、（Al，Ti）N要低很多，在易发生粘结问题的铜合金加工中能发挥优异的耐粘结性。在铜电极等加工中也显示出长寿命。TiN是最早的涂层物质。比硬质合金更加坚硬，有利于延长刀具寿命。但是最近开发出了更高性能的新型涂层物质，正在逐渐取代它们的位置。

氧化开始温度（副切削刃耐边界磨损性/耐前刀面磨损性）在切削的高压、高温环境下(Al，Ti)N中的Al发生氧化，形成非晶质 Al2O3保护膜，因此热稳定性好，高速切削时的耐磨损性优异。(Al，Ti，Si)N是比(Al,Ti)N的热稳定性更好的涂层物质，用于高硬度钢的高速立铣等加工中。 TiN的耐氧化性优异，自由能低（=热稳定性好），有利于延长刀具寿命。

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