CVD与PVD的比较 Mitsubishi

CVD涂层
PVD涂层
CVD与PVD的比较
其它涂层及表面处理

在涂层后的冷却中，由于涂层膜与基体的热收缩不同，会导致在涂层膜内产生内部变形，由此产生的内部应力称为残余应力。 - 点击下面的链接，可以看到CVD法与PVD法的残余应力比较。

残余应力

镀膜处理

-氧化处理氧化处理是一种在刀具表面生成细腻氧化膜(Fe3O4)的方法，具体步骤是对经过淬火与回火处理的高速钢进行磨削精加工，然后将其放入充满水蒸汽的气密炉中。故此氧化处理也称为高压蒸汽处理。经过氧化处理的刀具表面可以形成厚度为1～3μm的镀膜，这种膜非常坚硬，并且为多孔质，可以在切削加工的过程中通过吸收切削液来降低摩擦系数，从而起到减少切削阻力、防止熔敷的作用。这种处理一般应用于高速钢钻头上。 -氮化处理进行氮化处理的目的是提高材料的耐磨损性。具体方法是，对经过淬火与回火处理的高速钢刀具进行磨削精加工，然后放入氮中加热（低于回火温度），使氮渗入切削工具表面并生成异常坚硬的氮化合物（表面硬度1000～1300HV），实现材料的表面硬化。氮化处理有液体氮化与气体氮化两种方式，由于液体氮化需要花费较高的公害处理成本，因此近年来普遍采用气体氮化的处理方式。在实际进行处理时，一般采取与氧化处理相结合的方式，称为氮化+氧化处理，广泛应用于高速钢钻头与高速钢铰刀等刀具。

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